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本公司代客修改水平爐管，可與現有系統共存，不影響舊系統生產，
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改種植
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2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
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關鍵字：element,heater,加熱器,水平,爐管,立式,
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