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2008~2009 成功修改SVG 7000 6" oxide 立式爐管為POLY 8"製程，目前在合晶科技完成驗證與量產 Thermco 水平爐管LPCVD修改在合晶科技完成驗證與量產
逵碩實業成立2002年2月,於2008年11月通過ISO9000認證.主要從事半導體及光電業的擴散爐管設備翻新;PLC溫控模組設計;石英零件製作;電阻加熱器製作;Novellus 加熱器維修製作;Novellus heater wire製作,磁性流体維修.鏡面放電
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關鍵字：加熱器,plc溫控,爐管修改,diffusion,自動化設備修,Novellus
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