半導體 晶圓 Pinhole 光學檢測機

適用範圍:

-4” ~ 8”矽晶圓

作用:

-檢測晶圓表面凹洞及表面無法檢測之內層氣泡孔最小可檢測到50um

-可自動判斷有無缺陷

-客製化設計;滿足不同客戶需求

製程:

-出貨前檢測

優點:

-目視無法判斷的

-良率提高

-精度高