多孔陶瓷，陶瓷真空吸盤，氣浮非接觸載台

陶瓷真空吸盤
可局部區域性吸附
氣孔徑小，耗氣量少且吸力強，工件可局部吸附，不會造成破真空情形。
高溫燒結、高硬度、耐磨耗、耐化學腐蝕性且不發塵
氧化鋁材質，經1500℃以上高溫完全燒結，不會有發塵的問題。
孔隙度均勻、吸附力強且分佈均勻、可高精度承載
可均勻吸附工件，特別是薄膜或薄物件的吸附平坦度
孔徑小可均勻承載工件，不會造成被吸物的變形。
氣浮載台
產品孔徑大小可由0.2µm至30µm，可應用在各種特殊用途。目前產品有0.2、0.8、2、5、10、20、30µm。
高平面度要求，可依尺寸達0.01至0.05mm。
單片尺寸可達600*520mm，組合尺寸可達2*2m以上。
孔隙率為35至40%。
形狀：可依客製化為各種形狀。
底座材質：陶瓷、石材、不銹鋼、鋁合金、鈦合金。
顏色：白、黑、土黃色。
吸盤內部可進行加熱控溫設計，最高溫度200℃，方便製程加熱需求。