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ULVAC-蒸鍍機-VPC-1100,
a.腔體:390mm(直徑) X 350mm(高)
b.單組電流源控制器,(雙組選配)
c.擴散幫浦(高真空)
d.油幫(低真空)汙水下水道阻塞疏通
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關鍵字：ULVAC,蒸鍍機,VPC-11,擴散幫浦,油幫,電流原控制,兩組鎢舟,半導體實驗用
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