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在半導體自動化製程中,雷射雕刻機已普及運用於無塵室中。然雷射過程所產生的細微煙塵則會因靜電或自然沉降附著於物件表面,若以抹布或紙巾擦拭,則容易因摩擦而產生更大的靜電,反而不利清除。一般滾輪沾黏或毛刷清掃的除塵方式,由於需與物件直接接觸,因此在清潔過程中所夾雜的微塵顆粒,亦極易傷及物件表面。採用非接觸式清潔的集塵系統則無此困擾。
德璽實業可為您規劃並客製專用的非接觸式清潔除塵系統來解決您的粉塵汙染問題。
專業設計1. 利用特殊氣流的靜電消除裝置除掉物品表面靜電並使粉塵脫離物件。
專業設計2. 在抗靜電材質所組裝成的負壓工作站進行除塵作業,避免粉塵溢出汙染環境。
專業設計3. 結合微塵處理機的高效集塵及過濾處理能力,徹底淨化物件表面。
專業設計4. 即使多台設備也能透過內建的系統整合程式集中監控與管理,實現無人化關燈工廠的目標。保溫工程
關鍵字:非接觸式清潔,半導體,自動化,集塵機,雷射雕刻機,靜電消除,無塵室,粉塵汙染,過濾,除塵
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