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半導體機台設備零組件製造加工
AMAT CVD RTP XE
1.晶圓手臂吸片(Paddle)
2.加熱盤(Heater/Hot-Plate)
3.真空水盤
4.加熱吸盤(Hot-Chuck)
5.鏡面反射板(Reflector Plates)
6.真空腔體(Chamber)
7.鐵氟龍伸縮軟管(Teflon)
8.真空(金屬、陶瓷、焊接)絕緣轉接頭(Fed through)
台北排毒
AMAT CVD RTP XE
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3.真空水盤
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5.鏡面反射板(Reflector Plates)
6.真空腔體(Chamber)
7.鐵氟龍伸縮軟管(Teflon)
8.真空(金屬、陶瓷、焊接)絕緣轉接頭(Fed through)
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關鍵字：手臂吸盤,paddle,heater,RPT,e-chuck,hot-plate,hot-chuck,真空水盤,真空腔體,鐵氟龍伸縮軟管,Fed,through
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