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布魯克斯自動化股份有限公司 自動化, 機器手臂, 機台平台, 12吋晶圓載入機Loadport, Alignment, calibration, Vacuum System台元街32號5樓 布魯克斯自動化(Brooks),為美國Nasdaq上市公司Brooks Automation, Inc. [Nasdaq: BRKS] 投資在台設立,著重在半導體製造設備及其自動化設備之設計,銷售及諮詢顧問業務,並以專業的技術提供 OEM 客戶標準化的製程機台以加速其產品上市的時間及最佳的服務品質給最終用戶,以確保機台穩定與高生產率。 Brooks主要產品為機台自動化(Tool Automation)–機械手臂(Robot)、機台平台 (Platform)、12吋晶圓載入機(Loadport)、對準線和定標(Alignment & calibration);工廠自動化(Factory Automation)-光罩自動化機台( Litho automation)、8吋晶圓載入機(SMIF)、射頻辨識系統(RFID);真空產品 (Vacuum System ) - CTI幫浦真空器(CTI Cryo Pumps)、GP真空感測器(GP Vacuum Gauge)等多樣產品。主力的機台自動化產品包括真空和大氣Robot、工具平台和模組、裝載模組、設備前端模組和超乾淨的環境為隔絕處理設備,在各廠商一窩瘋投入Robot這塊市場,重心多放在大氣Robot,而布魯克斯目前的核心技術已能提供製造商最先進和最可靠的真空Robot及大氣Robot,為目前少數擁有此項技術的公司,品質及技術更無人能出其右,相當受到市場上的歡迎。在真空產品維修外牆汙垢高壓清洗
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